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日本CANON-ANELVA佳能真空計測量球 玻璃管封閉BA型電離真空計測量球，壓力測量低于10Pa. UGD-1S是Kovar玻璃密封BA測量儀。樁極是鎢絲，可以通過通電加熱來釋放氣體。因 此，即使在氣體排出期間也可以測量壓力。
日本CANON-ANELVA佳能真空計特點 1,豐富的外部控制p功能可實現完全的遠程操作 2.兩個設定點作為標準設備 3.最多可安裝4個選件板以增強功能 G注意：不支持GP-IB選件）
日本CANON-ANELVA佳能真空計 類型測量壓力范圍準確度（Pa）重復性輸入電壓能量消耗模擬輸出儀表識別電阻設定點接口I / O連接器電纜長度工作溫度范圍儲存溫度范圍烘烤溫度允許過載壓力適用的皮拉尼傳感器類型法蘭形狀傳感器材料
日本CANON-ANELVA佳能真空計特點 可以從寬測量范圍 到大氣壓下1×10 -2 Pa的優異再現性進行測量 高安全性 水晶壓力表是一種沒有熱源（燈絲）的真空計 緊湊，超輕量 控制器部件，手掌大小，質量僅200g
日本CANON-ANELVA佳能真空計測量球 測星球的電離計，用于測量100Pa和10Pa之間的壓力。、 由于LG-11S燈絲采用三面涂層銥線，因此使用溫度低，可以延長使用壽命。使用 中15適配器進行玻璃連接，或使用玻璃密封件連接◆70C的玻璃適配器。
日本CANON-ANELVA佳能熱陰極電離真空計特點 測量超過濺射過程的低真空區域而不犧牲超高真空側的特性到 10 -7 Pa到10 Pa的寬壓力測量范圍 高響應模擬輸出 壓力值的模擬信號輸出確保100毫秒內的高響應性，也可用于過程壓力控制
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