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日本CANON-ANELVA佳能真空計
提高耐腐蝕性
使用鎳絲
良好的重復性和低成本
從5×10 -2 Pa到大氣壓
半導體和電子器件制造設備
干蝕刻設備，等離子CVD設備，LD-CVD設備
食品和藥品生產設備
真空冷凍干燥，減壓蒸餾，滅菌設備
| M-351PG-SP （鎳絲）（設定點型） |
| 5×10 -2到1×10 5（Pa） |
| ±50％：5×10 -2至1×10 -1 ±15％：1×10 -1至1×10 4 ±50％：1×10 4至1×10 5 |
| ±2％：1×10 -1至1×10 4 Pa |
| +14至30VDC |
| 2W |
| 0到10V |
| 13KΩ（D-sub 5和9引腳之間） |
| 2觸點輸出（1A 30V，DC） |
| - |
| D-sub 9針 |
| 200米（0.34毫米2）支持* 1 |
| 5至60℃ |
| -20至70℃（未運行） |
| <+ 150℃（O型圈規格，僅測量頭） <+ 300℃（金屬密封規格，僅測量頭） |
| 1MPa（限于接頭形狀，惰性氣體，溫度） |
| MP-2 |
| NW16，NW25,1 / 8NPT |
| 皮拉尼燈絲：鎳 傳感器管：不銹鋼 入口端子絕緣體：Koval玻璃+ Al 2 O 3涂層 |
| IP40 |
| 兼容 |
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