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日本CANON-ANELVA佳能真空計
可以從寬測量范圍
到大氣壓下1×10 -2 Pa的優異再現性進行測量
高安全性
水晶壓力表是一種沒有熱源（燈絲）的真空計
緊湊，超輕量
控制器部件，手掌大小，質量僅200g
※僅適用于A-NET顯示器M-390·M-391，M-320XG。
*它是單通道兼容的。
各種真空設備的粗加工壓力的測量
壓力測量各種過程
用于檢測的壓力開關，例如腔室通風口
壓力測量從其他大氣壓力到10 -2 Pa 的量級
| M-320 XG | |
| XG-1水晶頭（水晶測量儀） | |
| 1×10 -2 Pa至大氣壓 | |
| N 2，Ar，H 2，空氣 | |
| DC 0-10V：以下項目的輸出格式由數字開關設置 ①Log輸出 ②復合輸出 ③可以選擇線性輸出滿量程壓力范圍（1×10 1，1×10 2，1×10 3，1×10 4，1× 10 5 Pa） | |
| INPUT | ①氣體類型設置2位信號切換 ②零點調整 ③ATM設置 |
| OUTPUT | 設定點輸出2點 |
| 2點（光電耦合器輸出，固定滯后） 由數字開關設定（SP1，SP2常用尾數部分，指數部分） | |
| 5°C至50°C（包括控制器） 測量頭的耐熱溫度僅為150°C MAX | |
| 通過PUSH開關或遠程I / O輸入進行軟件零點調整 | |
| 通過微調量調整 | |
| Dsub 15P | |
| 3個LED（PWR / ALM···2種顏色的綠色/紅色，SP 1 - 狀態···綠色，SP 2 - 狀態···綠色） | |
| DC 22 V至33 V，（功耗2 W） | |
| 72.5 H×102 W×44.5 D（不包括儀表頭） | |
| 200克（不包括儀表頭） | |
| NW 16，NW 25，φ34ICF，φ70ICF等 | |
日本CANON-ANELVA佳能真空計
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