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日本CANON-ANELVA佳能熱陰極電離真空計M-311HG-SP/RS
測量超過濺射過程的低真空區域而不犧牲超高真空側的特性到
10 -7 Pa到10 Pa的寬壓力測量范圍
高響應模擬輸出
壓力值的模擬信號輸出確保100毫秒內的高響應性，也可用于過程壓力控制
四種發光電流設定模式
可以根據應用進行選擇，例如在高壓區域側使用時的燈絲壽命改善
日本CANON-ANELVA佳能熱陰極電離真空計
生產真空裝置的壓力測量
半導體濺射裝置的壓力測量
各種真空設備
| 離子計 | |
| M-311 HG-SP | M-311 HG-RS |
| 1×10 -7至10 Pa | |
| DC 20至28 V. | |
| 12 W | |
| 0至10 V. | - |
| 2點繼電器輸出 | |
| - | RS485 |
| Dsub-9（男） | |
| 200米（1毫米2） | |
| 5至50°C | |
| -20至70°C | |
| 微型BA測量儀（MG-2I系列） | |
| 燈絲：Y 2 O 3 / Ir，表殼：SUS 304 | |
| 110×70×50 | |
| NW 16，NW 25，ICF 34，ICF 70 | |
| IP40 | |
| 支持 | |
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